Semi conducteurs

S’appuyant sur ses compétences dans les domaines de l’astronomie, du spatial et du laser, Sagem conçoit et réalise toute optique spécifique pour l’industrie des semi-conducteurs, que ce soit en domaine Ultra Violet (UV), Deep Ultra Violet (DUV) ou Extreme Ultra Violet (EUV).

Des compétences pointues

Le département Reosc de Sagem maîtrise plusieurs compétences spécifiques dans la réalisation des semi-conducteurs : l’ingénierie opto-mécano-thermique de haute précision, l’usinage de matériaux vitrocéramique et Carbure de Silicium, le polissage qualité EUV et DUV, le traitement ML EUV, l’AR-HR-dichroique-Polarisant en DUV, le montage opto-mécanique haute précision (sub-µm) et haute stabilité, propreté et contamination.
Ces compétences ont permis de développer des applications clés pour les réalisations industrielles : collection de flux, illumination, imagerie, éléments structuraux de haute stabilité, bar mirror, équipements divers haute performance pour EUV et DUV.

Systèmes et composants optiques haute performance

Sagem propose des produits spécifiquement développés pour les applications semi-conducteurs :
  • Optiques DUV pour la lithographie et l’inspection
  • Miroirs EUV, collecteurs et équipements EUV
  • Equipements optroniques
  • Composants et prestations de traitement à façon
  • Equipements de test
  • Outillages optiques divers : miroirs plan étalon, sphère étalon, montures, collimateurs, etc.

Optiques Deep Ultra Violet (DUV)

Sagem a développé les technologies nécessaires à la fabrication de composants optiques et de sous-systèmes travaillant à 248 nm et 193 nm avec notamment : des traitements anti-reflets à très faible absorption et grande durabilité, un polissage super poli pour lentilles et miroirs et une technologie de tenue de lentilles et miroirs compatible avec les exigences DUV (sans colle).

Optiques Extreme Ultra Violet (EUV)

L’expertise de Sagem dans le domaine des optiques EUV est démontré au travers des différents programmes français et européens auxquels Sagem participe ou a participé (MEDEA+ Extatic, Extumask, Eagle, IST more Moore, etc.) Sagem a ainsi, dans le cadre de ces grands programmes, développé des miroirs super polis travaillant à 13 nm et notamment : un Schwartzschild 10X - NA 0.32 et une optique d’illumination pour le Laboratory Exposure Bench (BEL) du CEA Leti, avec une erreur de front d’onde à moins de 1.8 nm rms, et une rugosité inférieure à 1.5 Å.
Sagem travaille également, via le programme MEDEA+/EAGLE et CATRENE/EXEPT, à la fabrication de collecteurs EUV à grande efficacité de collection pour la prochaine génération de sources.

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